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INHA-mini气体质量流量控制器-数字型
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基于多年的经验，我们未来将会成为一家专门从事真空部件销售的公司，并且我们将始终致力于为真空行业中的工作人员提供帮助。我们在学校和研究机构中从事真空相关研究已有多年经验。
我们还专门从事MFC的研究和生产，并进口代理和销售用MFC。此外，我们配备了校准器，可以通过提供MFC专业维修和组装来解决技术问题和交货时间。
公司本着“追求好、精益求精"的精神，提供优质的产品和快捷，细致，可靠的服务，精诚合作，共同进步！
INHA-mini气体质量流量控制器-数字型
| 气体质量流量控制器V10 MINI-DC | ||
| »三维尺寸图 | ||
| 单位：mm | ||
| 叮山 川叮 | ||
| 特征 | ||
| -更快的响应速度 | ||
| -全数字架构 | ||
| -稳定的流量控制 | ||
| -宽压力范围 | ||
| -优良的耐腐蚀性 | ||
| -出色的线性度 | ||
| -新型传感制作工艺，精度高 | ||
| -Mini型，体积小，节省空间 | ||
| 妄 | ||
| • Sccm,Slm表示标准气体流量(20°C 101.3Kpa) | ||
| »厂品规格 | ||
| 型号 | V10 MINI-DC | |
| 流量规格（N2 ） 控制量程 准确度 线性精度 重复精度 响应时间 正常工作温度范围 正常工作压力范围 漏率 电源 信号类型 密封类型 控制类型 连接器类型 气路接口类型 接口类型 材质 预热时间 | 3SCCM-5SLM 2%~100% of Full Scale <±1.0% of Full Scale <±0.5% of Full Scale <±0.2% of Full Scale <1 sec 0~50°C(Accuracy Guaranteed : 15~35°C) 0~10 Bar(g) 1x10-9 atm. cc/sec He + 14Vdc~+27Vdc/300mA 0-5V or Rs485 (Modbus Rtu) Viton/Buna/Kal rez/Teflon/Epdm Normally Closed Solenoid D-Sub 9 Pin Connector Male 1/4" , l/8n , LOK Digital Type SUS 316L 15 min (Accuracy Guaranteed : 30 min ) | |
| BE | ||
| 48 | ||
| 60 | ||
| 107.40 | ||
| »电气连接 | ||
| ci mum | ||
| fill | ||
| Mass Flow Controller | ||
| and Meter | ||
| V10 MINI-D | ||
| INHA | ||
| FLOW-> | ||
| I | ||
| 电气连接方式 | | 数字型（模拟信号兼容） | |
| 编号 | 功能 | V10 MINI-DC |
| 1 | 地 | • |
| 2 | + 14V-+27V 电源 | • |
| 3 | Rs-485 B(-) | • |
| 4 | 信号公共端 | • |
| 5 | 阀控 | • |
| 6 | 信号输出 | • |
| 7 | 电源公共端 | • |
| 8 | 信号输入 | • |
| 9 | Rs-485 A(+) | • |
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