INHA-气体质量流量控制器-模拟型

描述：INHA-气体质量流量控制器-模拟型
基于多年的经验，我们未来将会成为一家专门从事真空部件销售的公司，并且我们将始终致力于为真空行业中的工作人员提供帮助。我们在学校和研究机构中从事真空相关研究已有多年经验。

更新时间：2021-11-24

产品型号：MF200C

所在城市：晋中市

厂商性质：生产厂家

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INHA-气体质量流量控制器-模拟型

您好！欢迎来到仁荷微电子

基于多年的经验，我们未来将会成为一家专门从事真空部件销售的公司，并且我们将始终致力于为真空行业中的工作人员提供帮助。我们在学校和研究机构中从事真空相关研究已有多年经验。

我们还专门从事MFC的研究和生产，并进口代理和销售用MFC。此外，我们配备了校准器，可以通过提供MFC专业维修和组装来解决技术问题和交货时间。

公司本着“追求好、精益求精"的精神，提供优质的产品和快捷，细致，可靠的服务，精诚合作，共同进步！

INHA-气体质量流量控制器-模拟型

气体质量流量控制器 MF-200C

»三维尺寸图

»特征

Mass Flow Controller
and Meter

MF 200 Series

-响应速度快

-准确度咼

-稳定的流量控制

-宽压力范围

-优良的耐腐蚀性

-出色的线性度

-新型传感制作工艺

单位：mm

"X"尺寸规格
接口规格	mm
l/8nLok	122.7
l/4"Lok	1273
3/8HLok	130.4
l/2"Lok	134.4
1/4"VCR	123.8
1/2"VCR	131.4

• Sccm,Slm表示标准气体流量(20°C 101.3Kpa)

»产品规格

型号	MF-200C
流量规格（N2 ）控制量程准确度线性精度重复精度响应时间正常工作温度范围正常工作压力范围漏率电源信号类型密封类型控制类型连接器类型气路接口类型接口类型材质预热时间	10SCCM-30SLM 2%~100% of Full Scale <±1.0% of Full Scale(20 , 30SLM : <±1.5 Full Scale) <±0.5% of Full Scale <±0.2% of Full Scale <2 sec 0~50°C(Accuracy Guaranteed : 15~35°C) 0-100 Bar(g) 1x10-9 atm. cc/sec He + 15Vdc or 24Vdc/300mA 0-5V or4-20mA Viton/Buna/Ka 1 rez/T eflon/Epd m Normally Closed Solenoid D-Sub 9 Pin Connector Male 1/4" , 1/8" , 3/8nl/2"LOK l/4"l/2nVCR Analog Type SUS 316L 15 min(Accuracy Guaranteed : 30 min)

»电气连接

M3

Mass Flow Controller
and Meter

MF 200 Series

FLOW »

电气连接方式		I 电压电流型
编号	功能	MF-200C
1	地	•
2	+ 15V/+24V 电源	•
3	空	X
4	信号公共端	•
5	阀控	•
6	0-5Vdc信号输出	•
7	电源公共端	•
8	0-5Vdc信号输入	•
9	空	X

MASS FLOW Meter