产品展示
金属密封热式流量控制器 半导体流量控制器特点：
●长明零点稳定性，每年变动小于满量程的0.2%
●能够根据命令变化在 3秒内完成设置并且过冲/下冲可忽略不计
●流量范围究 -3 sccm至高达30,000 slpm
●高压额定值-高达1,500 psi
●可选增强型内部后处理工艺-5u 英寸Ra (平均值)
●可拆卸式流量传感器
●不受安装角度影响
●其他质量流量控制器在机城和电设计方面兼容
●TTL兼容型阀关团和吹扫功能
金属密封热式流量控制器 半导体流量控制器优势：
●全金属流路可确保件纯度并降低范流风险；
●在广泛的工艺和应用范围内拥有经认可的长期稳定性和准确性；
●由于性能可靠， 因此投资回报率出众；
●采用可拆卸式流量传感器，因此无雾对气压进行连续监测和重新调节；
●由于慢拟量仅为输入输出，因此易于安装和保养。
产品应用：
●光端机
●LED/MOCVD
●半与体
●太阳能
咨询电话
联
系
我
们
系
我
们